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등록 양면 마이크로 가스 센서 및 그의 제조방법

양면 마이크로 가스 센서 및 그의 제조방법
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발명자
이형근, 문승언, 최낙진, 이재우, 김종대, 양우석
출원번호
13909477 (2013.06.04)
공개번호
20140175570 (2014.06.26)
등록번호
8912613 (2014.12.16)
출원국
미국
협약과제
12MB2400, 스마트&그린 빌딩용 자가충전 지능형 센서노드 플랫폼 핵심기술 개발, 김종대
초록
Provided are a dual-side micro gas sensor and a method of fabricating the same. The sensor may include an elastic layer, a heat-generating resistor layer on the elastic layer, an interlayered insulating layer on the heat-generating resistor layer, an upper sensing layer on the interlayered insulating layer, and a lower sensing layer provided below the elastic layer to face the heat-generating resistor layer, thereby reducing heat loss of the heat-generating resistor layer.
KSP 제안 키워드
Heat loss, Micro gas sensor, Sensing layer, elastic layer, gas sensors, insulating layer
패밀리
 
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구분 특허 출원국 KIPRIS
등록 양면 마이크로 가스 센서 및 그의 제조방법 대한민국 KIPRIS