상세정보
등록 양면 마이크로 가스 센서 및 그의 제조방법
- 출원번호
- 13909477 (2013.06.04)
- 공개번호
- 20140175570 (2014.06.26)
- 등록번호
- 8912613 (2014.12.16)
- 출원국
- 미국
- 협약과제
- 12MB2400, 스마트&그린 빌딩용 자가충전 지능형 센서노드 플랫폼 핵심기술 개발, 김종대
- 초록
- Provided are a dual-side micro gas sensor and a method of fabricating the same. The sensor may include an elastic layer, a heat-generating resistor layer on the elastic layer, an interlayered insulating layer on the heat-generating resistor layer, an upper sensing layer on the interlayered insulating layer, and a lower sensing layer provided below the elastic layer to face the heat-generating resistor layer, thereby reducing heat loss of the heat-generating resistor layer.
- 패밀리
| 구분 | 특허 | 출원국 | KIPRIS |
|---|---|---|---|
| 등록 | 양면 마이크로 가스 센서 및 그의 제조방법 | 대한민국 | KIPRIS |