등록
양면 마이크로 가스 센서 및 그의 제조방법
- 발명자
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이형근, 문승언, 최낙진, 이재우, 김종대, 양우석
- 출원번호
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13909477 (2013.06.04)
- 공개번호
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20140175570 (2014.06.26)
- 등록번호
- 8912613 (2014.12.16)
- 출원국
- 미국
- 협약과제
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12MB2400, 스마트&그린 빌딩용 자가충전 지능형 센서노드 플랫폼 핵심기술 개발,
김종대
- 초록
- Provided are a dual-side micro gas sensor and a method of fabricating the same. The sensor may include an elastic layer, a heat-generating resistor layer on the elastic layer, an interlayered insulating layer on the heat-generating resistor layer, an upper sensing layer on the interlayered insulating layer, and a lower sensing layer provided below the elastic layer to face the heat-generating resistor layer, thereby reducing heat loss of the heat-generating resistor layer.
- KSP 제안 키워드
- Heat loss, Micro gas sensor, Sensing layer, elastic layer, gas sensors, insulating layer
- 패밀리
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