상세정보
등록 적외선 레이저 레이다의 영상 신호를 검출하기 위한 광 검출기 및 그 제조방법
- 출원번호
- 10-2005-0121973 (2005.12.12)
- 등록번호
- 10-0670828-0000 (2007.01.11)
- 출원국
- 대한민국
- 협약과제
- 05DB1100, 3차원 거리/영상 신호처리 집적화 회로를 내장한 InGaAs 광검출 수신기, 김호영
- 초록
- 전극간을 연결하는 금속 배선을 평탄화된 표면에 배치하여 배열을 단순화시킬 수 있는 광 검출기 및 그 제조 방법을 개시한다. 개시된 본 발명의 광 검출기는 화합물 반도체 기판 상에 형성된 다층의 화합물 반도체 층을 포함한다. 상기 화합물 반도체층의 선택된 영역에 일정 규칙을 가지고 다수의 p-n 접합 다이오드가 배열되어 있으며, 상기 다수의 p-n 접합 다이오드를 개별적으로 분리하도록 상기 다층의 화합물 반도체 층 내에 불순물 이온이 주입되어 소자 분리 영역이 형성된다. 상기 소자 분리 영역과 상기 화합물 반도체층의 표면은 동일 평면에 위치된다. 상기 소자 분리 영역은 Fe 불순물 영역임이 바람직하다.