상세정보
등록 전자빔 궤적 제어가 가능한 전계 방출 장치 및 그 제조방법
- 출원번호
- 10-2006-0056207 (2006.06.22) KIPRIS
- 공개번호
- 10-2007-0059870 (2007.06.12)
- 등록번호
- 10-0796975-0000 (2008.01.16)
- 출원국
- 대한민국
- 초록
- 본 발명은 전계 방출 장치 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은 기판 상에 전자빔의 발산 또는 집속의 선택에 따라 그 설치 면적/폭이 정해지는 캐소드 전극을 형성하며, 캐소드 전극에 전기적으로 접속되는 에미터를 형성하며, 기판에 접합되는 절연체 층과 이 절연체 층에 설치되며 에미터에 대응하는 개구부 및 절연체 층의 일면에 설치되는 게이트 전극을 구비한 절연체 기판을 준비하며, 개구부 중심부에 에미터가 위치하도록 캐소드 전극과 에미터가 설치된 캐소드 기판과 절연체 기판을 접합하는 단계들을 포함하는 전계 방출 장치의 제조방법을 제공한다. 또한 배면 기판 상에 위치하며 소정 형태로 패터닝된 캐소드 전극, 배면 기판 상에서 캐소드 전극의 폭을 확장하는 구조로 설치되며 캐소드 전극과 전기적으로 절연되는 보조 전극, 캐소드 전극 및 보조 전극이 구비된 배면 기판을 덮는 절연체 층, 절연체 층 위에 위치하는 게이트 전극, 절연체 층의 개구부 내에 위치하며 캐소드 전극에 접속되는 에미터, 그리고 아노드 전극과 형광체가 설치된 아노드 기판을 포함하는 전계 방출 장치를 제공한다.