상세정보
등록 유연한 기판에서의 유기박막 트랜지스터 및 그 제조방법
- 출원번호
- 10-2006-0062870 (2006.07.05)
- 등록번호
- 10-0777110-0000 (2007.11.09)
- 출원국
- 대한민국
- 협약과제
- 05MB3300, Flexible 디스플레이 (차세대 디스플레이 기술 개발), 강광용
- 초록
- 본 발명은 유기박막 트랜지스터의 실용화를 위한 필수적 과정인 유기반도체의 패터닝 공정에 사용할 플라즈마 식각방지막 형성 기술과 이 기술에 사용되는 물질에 관한 것이다. 본 발명의 유기박막 트랜지스터는 기판 상에 위치하는 게이트 전극과, 유기 절연막을 사이에 두고 게이트 전극과 마주하는 유기반도체 박막과, 유기 절연막 상에 위치하며 유기반도체 박막에 연결되는 소스/드레인 전극과, 유기 절연막을 덮는 식각방지막을 포함하여 이루어지며, 그리고 유기박막 트랜지스터의 식각방지막은 150℃ 이하의 저온에서 매우 얇은 두께의 무기막을 원자층 증착법으로 증착하여 형성되는 것을 특징으로 한다. 무기막으로는 저온 증착이 가능한 알루미나 또는 저온 증착이 가능한 산화막을 모두 사용할 수 있다. 본 발명에 의하면, 유기박막 트랜지스터 어레이를 안정적으로 재현성 있게 형성할 수 있으며, 특히 저온 공정이 가능하므로 플라스틱 기판에서도 유기박막 트랜지스터 어레이를 형성할 수 있어서 플렉시블 디스플레이에 직접 응용 가능하며, 스마트카드, RFID 등에도 응용 가능하다.