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등록 미세패터닝이 가능한 고 신뢰성의 CNT 에미터 제조 방법

미세패터닝이 가능한 고 신뢰성의 CNT 에미터 제조 방법
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발명자
김대준, 송윤호, 정진우
출원번호
10-2006-0123944 (2006.12.07)
등록번호
10-0777113-0000 (2007.11.09)
출원국
대한민국
초록
본 발명은 나노 크기의 금속입자를 첨가시켜 전자방출원(이하, 에미터)의 신뢰성을 크게 향상시킬 수 있는 전계 방출 디스플레이용 CNT 에미터 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 CNT 에미터 제조방법은 (a) CNT 파우더, 유기 바인더, 감광물질, 모노모 및 나노 크기의 금속입자를 용매에 분산시켜 CNT페이스트를 제조하는 단계; (b) 상기 CNT 페이스트를 기판의 상부에 형성된 전극 상에 도포하는 단계; (c) 상기 전극 상에 도포된 상기 CNT 페이스트를 노광하여 미세 패터닝하는 단계; (d) 상기 미세 패터닝된 CNT 페이스트를 소성하는 단계; 및 (e) 상기 소성된 CNT 페이스트의 표면이 활성화되도록 상기 CNT 페이스트의 표면을 처리하는 단계를 포함한다. 전술한 구성을 통해, 본 발명의 CNT에미터는 수 ㎛정도의 미세 패터닝이 가능하여, 하나의 픽셀 내에 여러 개의 CNT 에미터 영역을 형성할 수 있음으로써, 전자 방출의 균일도를 향상시킬 수 있다. 또한, 상기 CNT 페이스트의 금속성 충전제로 나노크기의 금속입자를 첨가함으로써, CNT의 열화가 나타나지 않는 낮은 온도에서 금속을 용융시킬 수 있으며, CNT의 음극전극과의 접착성을 강화할 수 있어, CNT 에미터의 신뢰성을 향상시킬 수 있다. 미세 패터닝, 전계방출디스플레이(FED), 탄소나노튜브(CNT), CNT 에미터, CNT 페이스트, 나노크기 금속 입자
패밀리
 
패밀리 특허 목록
구분 특허 출원국 KIPRIS
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