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Registered 다기능 미소기전집적시스템 센서의 제조방법
- Application No.
- 10-2007-0084718 (2007.08.23) KIPRIS
- Publication No.
- 10-2008-0050990 (2008.06.10)
- Registration No.
- 10-0880044-0000 (2009.01.15)
- Country
- KOREA
- Project Code
- 06MB3200, Ubiquitous Health Monitoring Module and System Development, Park Seon Hee
- Abstract
- 본 발명은 유비쿼터스 센스 네트워크(Ubiquitous Sensor Network, USN) 응용을 위한 다기능 MEMS 센서의 일괄 제조방법에 관한 것으로, 이를 위한 본 발명의 다기능 MEMS 센서의 제조방법은 기판 상부에 정전력형 물리량 감지센서의 제1전극을 형성하는 단계; 상기 제1전극을 포함하는 결과물 전면에 제1희생층을 형성하는 단계; 상기 제1전극 상부 영역의 상기 제1희생층에 불순물도핑층을 형성하는 단계; 상기 불순물도핑층을 포함하는 결과물의 전면에 제2희생층을 형성하는 단계; 상기 제2희생층 상부에 정전력형 물리량 감지센서의 제2전극을 포함하는 부양구조물을 형성하는 단계; 상기 제2희생층 및 제1희생층을 선택적으로 식각하여 상기 불순물도핑층의 측벽이 노출되도록 식각홀을 형성하는 단계 및 상기 불순물도핑층과 상기 불순물도핑층과 접하는 제1희생층 및 제2희생층을 선택적으로 습식식각하여, 상기 제1전극과 제2전극 사이에 공기간극을 형성하는 단계를 포함하고 있으며, 이를 통하여 유비쿼터스 센서 네트워크를 보다 효과적으로 구현할 수 있는 효과가 있다.
- KSP Keywords
- Sensor networks, ubiquitous sensor network