상세정보
등록 탄소나노튜브 제조장치 및 제조방법
- 출원번호
- 10-2007-0053776 (2007.06.01) KIPRIS
- 공개번호
- 10-2008-0052219 (2008.06.11)
- 등록번호
- 10-0844456-0000 (2008.07.01)
- 출원국
- 대한민국
- 협약과제
- 06MB1100, 나노소자기반 회로 설계기술 개발, 김종대
- 초록
- 본 발명은 탄소나노튜브(Carbon nanotubes, CNT) 제조장치 및 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 탄소나노튜브 제조장치는 기체가 유입되는 기체 유입구를 포함하며, 플라즈마를 이용하여 활성화된 라디컬 및 이온을 탄소화합물 및 반응이온으로 활성화시키는 제 1 챔버; 상기 제 1 챔버와 연통하며, 상기 제 1 챔버로부터 상기 활성화된 탄소화합물 및 반응이온을 플라즈마 반응시켜 상기 탄소화합물 및 반응이온의 밀도를 조절하는 제 2 챔버; 및 내부에 형성된 복수의 나노튜브에 상기 제 2 챔버와 연통하여 상기 플라즈마 반응된 상기 탄소화합물 및 반응이온을 통과시켜 탄소나노튜브를 성장시키고 외부로 배출하는 제 3 챔버를 포함한다.본 발명에 따르면, 플라즈마와 이온 발생기를 통해 기상의 전하 밀도를 조절하고, 다수의 튜브형태의 관의 길이를 조절함으로써 구조제어가 가능한 고순도 탄소나노튜브를 대량으로 생산할 수 있는 효과가 있다.
- KSP 제안 키워드
- Carbon nano-tube(CNT)