상세정보
등록 에폭시 수지를 이용한 광 도파로 및 그 제조방법
- 출원번호
- 10-2007-0108064 (2007.10.26) KIPRIS
- 공개번호
- 10-2009-0042354 (2009.04.30)
- 등록번호
- 10-0935866-0000 (2009.12.30)
- 출원국
- 대한민국
- 협약과제
- 06PB1200, 고속 대용량 정보처리용 광전배선 모듈 개발, 안승호
- 초록
- 본 발명은 에폭시 수지를 이용하여 광 도파로의 코어와 클래드를 형성함으로써 광 도파로의 열적 안정성과 광전송 효율을 높이고, 클래드를 보호하기 위해 클래드의 외부에 고분자 필름을 부착한 광 도파로 및 그 제조방법을 제공한다. 본 발명에 의한 에폭시 수지를 이용한 광 도파로 제조방법은 (a) 양각 패턴이 형성된 하부 PDMS 마스터와, 상부 PDMS 마스터를 준비하는 단계; (b) 상기 양각 패턴이 형성된 하부 PDMS 마스터 및 상부 PDMS 마스터 상에 액상의 하부 클래드용 에폭시 수지 및 상부 클래드용 에폭시 수지를 각각 도포하는 단계; (c) 상기 하부 클래드용 에폭시 수지 및 상부 클래드용 에폭시 수지 상에 각각 고분자 필름을 도포한 후, UV를 이용하여 상기 하부 및 상부 클래드용 에폭시 수지와 고분자 필름을 경화하는 단계; (d) 상기 하부 PDMS 마스터를 제거하여 음각 패턴이 형성된 하부 클래드를 형성하고, 상기 상부 PDMS 마스터를 제거하여 상부 클래드를 형성하는 단계; (e) 상기 하부 클래드의 음각 패턴 상에 액상의 코어용 에폭시 수지를 도포하는 단계; 및 (f) 상기 하부 클래드용 에폭시 수지 및 상기 상부 클래드용 에폭시 수지가 접촉하도록 상기 하부 클래드 및 상기 상부 클래드를 결합시킨 후, UV를 이용하여 상기 코어용 에폭시 수지를 경화하는 단계를 포함한다.