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Registered 바이폴라 트랜지스터 기반의 비냉각형 적외선 센서 및 그의 제조 방법
- Application No.
- 10-2007-0110150 (2007.10.31) KIPRIS
- Publication No.
- 10-2009-0044181 (2009.05.07)
- Registration No.
- 10-0928200-0000 (2009.11.17)
- Country
- KOREA
- Project Code
- 07ZB1100, The Service Project of Semiconductor Foundry, Kim Bo Woo
- Abstract
- 본 발명은 바이폴라 트랜지스터 기반의 비냉각형 적외선 센서 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 기판; 상기 기판으로부터 부유되도록 형성된 적어도 하나의 바이폴라 트랜지스터; 및 상기 적어도 하나의 바이폴라 트랜지스터의 상측면에 형성된 열 흡수층을 포함하고, 상기 적어도 하나의 바이폴라 트랜지스터 각각은 상기 열 흡수층을 통해 흡수된 열에 따라 출력값을 가변하는 것을 특징으로 하며, 이에 의하여 CMOS 공정과 양립되면서도 보다 우수한 온도 변화 감지 특성을 제공할 수 있다.