상세정보
등록 반도체 가스 센서
- 출원번호
- 10-2007-0132335 (2007.12.17) KIPRIS
- 공개번호
- 10-2009-0064947 (2009.06.22)
- 등록번호
- 10-0959134-0000 (2010.05.13)
- 출원국
- 대한민국
- 협약과제
- 07MB2700, 유비쿼터스 건강관리용 모듈 시스템, 박선희
- 초록
- 본 발명은 반도체 가스 센서에 관한 것으로, 기저와, 상기 기저 상에 배치된 전극과, 상기 기저 상에 배치되어 상기 전극과 전기적으로 연결된 하부 감지막과, 그리고 상기 하부 감지막을 감싸며, 미세 기둥들 사이에 틈들을 포함하는 박막으로 구성된 상부 감지막을 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 미세 기둥 구조를 갖는 상부 감지막을 하부 감지막 위에 형성하여 가스 군의 입자 크기에 따라 가스 감지 신호를 얻을 수 있어서 선택적인 가스 검출을 할 수 있게 된다.