상세정보
등록 볼로미터 및 그 제조 방법
- 출원번호
- 10-2007-0122577 (2007.11.29) KIPRIS
- 공개번호
- 10-2009-0055766 (2009.06.03)
- 등록번호
- 10-0925214-0000 (2009.10.29)
- 출원국
- 대한민국
- 협약과제
- 07MB2500, 유비쿼터스용 CMOS 기반 MEMS 복합센서기술개발, 최창억
- 초록
- 본 발명은 잡음 감소 및 온도 감지에 대한 정밀도가 향상된 볼로미터 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 결정화도가 높은 단결정 실리콘(Si) 또는 실리콘 게르마늄(Si1-xGex, x=0.2~0.5)으로 저항층을 형성함으로써, 종래의 비정질 실리콘 볼로미터에 비하여 1/f 잡음을 감소시킬 수 있으며, 이에 따라 적외선 센서의 온도 감지에 대한 정밀도를 획기적으로 향상시킬 수 있는 것을 특징으로 한다.