상세정보
등록 진동 측정을 위한 미소센서
- 출원번호
- 10-2007-0127880 (2007.12.10) KIPRIS
- 공개번호
- 10-2009-0060897 (2009.06.15)
- 등록번호
- 10-0934217-0000 (2009.12.18)
- 출원국
- 대한민국
- 협약과제
- 07MB2500, 유비쿼터스용 CMOS 기반 MEMS 복합센서기술개발, 최창억
- 초록
- 본원발명은 진동 측정을 위한 센서에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 자기장 내에서 도체가 이동하는 경우에 유도전류가 발생하는 원리를 이용한다. 더욱 상세하게는 진동에 의한 힘에 의해 이동하는 질량체에 탄성을 가진 도체를 연결하고, 이 도체가 자기장 내에서 이동하여 발생하는 유도기전력을 이용하여 진동을 측정하는 실리콘 미세가공기술(Micromachining technology)에 기반한 진동 측정용 미소 센서에 관한 것이다.
- KSP 제안 키워드
- micromachining technology