ETRI-Knowledge Sharing Plaform

KOREAN
특허 검색
Status Country
Year ~ Keyword

Detail

Registered 진동 측정을 위한 미소센서

진동 측정을 위한 미소센서
이미지 확대
Inventors
Lee Myung Lae, Chang Han Je, Jung Sunghae, Sungsik Lee, Hwang Gunn, Chang Auck Choi
Application No.
10-2007-0127880 (2007.12.10) KIPRIS
Publication No.
10-2009-0060897 (2009.06.15)
Registration No.
10-0934217-0000 (2009.12.18)
Country
KOREA
Project Code
07MB2500, Development of CMOS based MEMS processed multi-functional sensor for ubiquitous environment, Chang Auck Choi
Abstract
본원발명은 진동 측정을 위한 센서에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 자기장 내에서 도체가 이동하는 경우에 유도전류가 발생하는 원리를 이용한다. 더욱 상세하게는 진동에 의한 힘에 의해 이동하는 질량체에 탄성을 가진 도체를 연결하고, 이 도체가 자기장 내에서 이동하여 발생하는 유도기전력을 이용하여 진동을 측정하는 실리콘 미세가공기술(Micromachining technology)에 기반한 진동 측정용 미소 센서에 관한 것이다.
KSP Keywords
micromachining technology