상세정보
등록 MEMS를 이용한 압전 소자 마이크로 스피커 및 그 제조 방법
- 출원번호
- 12240138 (2008.09.29)
- 공개번호
- 20090146527 (2009.06.11)
- 등록번호
- 7812505 (2010.10.12)
- 출원국
- 미국
- 협약과제
- 07MB2600, 유비쿼터스 단말용 부품 모듈, 김종대
- 초록
- A piezoelectric microspeaker using microelectromechanical systems (MEMS) and a method of manufacturing the same are provided. The piezoelectric microspeaker includes a piezoelectric layer disposed on an elastic thin layer, and a resonance change unit patterned on one of a bottom surface of the elastic thin layer and a top surface of the piezoelectric layer.
- 패밀리
| 구분 | 특허 | 출원국 | KIPRIS |
|---|---|---|---|
| 등록 | M E M S 를 이용한 압전 소자 마이크로 스피커 및 그 제조 방법 | 대한민국 | KIPRIS |