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등록 압전 소자 마이크로폰, 스피커, 마이크로폰-스피커 일체형 장치 및 그 제조방법

압전 소자 마이크로폰, 스피커, 마이크로폰-스피커 일체형 장치 및 그 제조방법
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발명자
김혜진, 이상균, 이성규, 이재우, 박강호, 김종대
출원번호
12195311 (2008.08.20)
공개번호
20090154735 (2009.06.18)
등록번호
8114697 (2012.02.14)
출원국
미국
협약과제
07MB2600, 유비쿼터스 단말용 부품 모듈, 김종대
초록
A piezoelectric microphone, a speaker, a microphone-speaker integrated device and a manufacturing method thereof are provided. The microphone-speaker integrated device includes a silicon substrate and an insulating layer deposited on the silicon substrate; a piezoelectric plate formed on the insulating layer; and a mating electrode formed on the piezoelectric plate. The mating electrode is patterned with a polarity arrayed in series.