상세정보
등록 멤스 마이크로폰 및 그 제조 방법
- 출원번호
- 10-2008-0131632 (2008.12.22) KIPRIS
- 공개번호
- 10-2010-0073051 (2010.07.01)
- 등록번호
- 10-1065292-0000 (2011.09.08)
- 출원국
- 대한민국
- 협약과제
- 08MB1800, 유비쿼터스 단말용 부품 모듈, 김종대
- 초록
- 본 발명은 멤스(MEMS : Micro Electro Mechanical System) 마이크로폰 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 기판의 상부 공정만을 통해 멤스 마이크로폰을 제작함으로써, 기판의 상하부 공정을 모두 이용하던 종래에 비하여 제조 공정을 단순화할 수 있는 것을 특징으로 한다. 따라서, 본 발명에 따르면 간단하고 용이한 제조 공정에 의해 제조 공정에서 발생되는 불량을 최소화하여 제조수율을 증대시킬 수 있으며, 멤스 마이크로폰의 내구성을 높여 외부환경에 대한 시스템의 안정성을 높일 수 있다.
- KSP 제안 키워드
- Electro-mechanical, Micro-electro-mechanical system(MEMS), mechanical system
- 패밀리
| 구분 | 특허 | 출원국 | KIPRIS |
|---|---|---|---|
| 등록 | 표면 미세기계가공으로 구현되며 후방 음향 챔버 벤팅 홀을 구비한 멤스 마이크로폰 및 그의 제조 방법 | 미국 | |
| 등록 | 멤스 마이크로폰 및 그 제조 방법 | 미국 |