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Registered 멤스 마이크로폰 및 그 제조 방법
- Application No.
- 10-2008-0131632 (2008.12.22) KIPRIS
- Publication No.
- 10-2010-0073051 (2010.07.01)
- Registration No.
- 10-1065292-0000 (2011.09.08)
- Country
- KOREA
- Project Code
- 08MB1800, Components/Module technology for Ubiquitous Terminals, Kim Jongdae
- Abstract
- 본 발명은 멤스(MEMS : Micro Electro Mechanical System) 마이크로폰 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 기판의 상부 공정만을 통해 멤스 마이크로폰을 제작함으로써, 기판의 상하부 공정을 모두 이용하던 종래에 비하여 제조 공정을 단순화할 수 있는 것을 특징으로 한다. 따라서, 본 발명에 따르면 간단하고 용이한 제조 공정에 의해 제조 공정에서 발생되는 불량을 최소화하여 제조수율을 증대시킬 수 있으며, 멤스 마이크로폰의 내구성을 높여 외부환경에 대한 시스템의 안정성을 높일 수 있다.
- Family
| Status | Patent | Country | KIPRIS |
|---|---|---|---|
| Registered | MICRO-ELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) MICROPHONE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME | UNITED STATES | |
| Registered | MICRO-ELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) MICROPHONE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME | UNITED STATES |