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Detail
Registered 박막 증착 장치
- Inventors
- 정우석, 김영신
- Application No.
- 10-2010-0105303 (2010.10.27) KIPRIS
- Publication No.
- 10-2012-0061147 (2012.06.13)
- Registration No.
- 10-1512132-0000 (2015.04.08)
- Country
- KOREA
- Abstract
- 본 발명은 생산성을 증대 또는 극대화할 수 있는 박막 증착 장치를 개시한다. 그의 장치는, 필름 또는 평판 상에 제 1 플라즈마를 유도하는 적어도 하나의 스퍼터 건을 포함하는 공정 챔버와, 상기 공정 챔버의 일측에 제공되고, 상기 공정 챔버에 상기 필름 또는 상기 평판을 각각 로딩하는 제 1 및 제 2 로딩 챔버들을 포함하는 로딩부와, 상기 로딩부에 대향되는 상기 공정 챔버의 타측에 제공되고, 상기 공정 챔버에서 상기 필름 또는 상기 평판을 각각 언로딩하는 제 1 및 제 2 로딩 챔버들을 포함하는 언로딩부를 포함한다. 여기서, 상기 공정 챔버의 양측에서 상기 제 1 로딩 챔버와 상기 제 1 언로딩 챔버, 또는 상기 제 2 로딩 챔버와 상기 제 2 언로딩 챔버가 연결되도록 구성될 수 있다.