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Registered method for manufacturing via electrode

비어 전극의 제조방법
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Inventors
Kim Dong -Pyo, Park Kun Sik, Baek Kyu-Ha, Kim Zin-Sig, Kim Joo Yeon, Jeong Ye Sul, Park Ji Man, Do Lee-Mi
Application No.
10-2011-0011565 (2011.02.09) KIPRIS
Publication No.
10-2012-0035829 (2012.04.16)
Registration No.
10-1804837-0000 (2017.11.29)
Country
KOREA
Abstract
본 발명은 생산성 및 생산수율을 증대 또는 극대화할 수 있는 비어 전극의 제조방법을 개시한다. 그의 제조 방법은, 기판에 비어 홀을 형성하는 단계와, 상기 비어 홀의 측벽 및 바닥에 촉매 층을 형성하는 단계와, 상기 촉매 층을 그라핀 입자들이 혼합된 용액(solution)에 노출시켜, 상기 비어 홀 내에 그라핀 층을 형성하는 단계를 포함한다.
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Status Patent Country KIPRIS
Registered METHOD OF MANUFACTURING VIA ELECTRODE UNITED STATES