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Detail
Registered SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
- Inventors
- Jong-Won Lim, Hokyun Ahn, Woojin Chang, Hae Cheon Kim, Dong Min Kang, Eun Soo Nam
- Application No.
- 10-2010-0127661 (2010.12.14) KIPRIS
- Publication No.
- 10-2012-0066362 (2012.06.22)
- Registration No.
- 10-1583094-0000 (2015.12.30)
- Country
- KOREA
- Project Code
- 10ZB1100, Development support for customer-based convergence components, Eun Soo Nam
- Abstract
- 본 발명은 반도체 소자 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 본 발명의 반도체 소자는 AlGaN/GaN 이종접합 구조를 가지는 기판 위에 소스 전극, 드레인 전극, 필드 플레이트 전극 및 게이트 전극을 형성하는데 있어서, 상기 게이트 전극의 머리부 하단에 위치한 제2지지부 측면에 게이트 전극과 동일한 금속으로 이루어진 필드 플레이트 전극을 형성함으로써, 게이트 전극의 무너짐을 방지하고 반도체 소자의 고주파 및 고전압 특성을 향상시킨다.
- Family
| Status | Patent | Country | KIPRIS |
|---|---|---|---|
| Registered | SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME | UNITED STATES |