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Registered 다수의 구멍을 가진 마이크로히터를 이용한 MEMS형 반도체식 가스 센서 및 그 제조 방법
- Application No.
- 10-2011-0068818 (2011.07.12) KIPRIS
- Publication No.
- 10-2012-0091981 (2012.08.20)
- Registration No.
- 10-1519033-0000 (2015.05.04)
- Country
- KOREA
- Project Code
- 10MB3300, Development of self-powered smart sensor node platform for smart&green building, Kim Jongdae
- Abstract
- 본 발명은 다수의 구멍을 가진 마이크로히터를 이용한 MEMS형 반도체식 가스 센서 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 중앙 영역이 일정 두께만큼 식각된 기판; 상기 기판의 중앙 영역 상부에 형성되고, 다수의 구멍을 가지는 제2 멤브레인; 상기 제2 멤브레인 상에 형성되고, 다수의 구멍을 가지는 발열 저항체; 상기 발열 저항체를 포함하는 제2 멤브레인 상에 형성되고, 다수의 구멍을 가지는 제1 멤브레인; 상기 제1 멤브레인 상에 형성되고, 다수의 구멍을 가지는 감지 전극; 및 상기 감지 전극 상에 형성되는 감지 소재를 포함한다.
- KSP Keywords
- Electro-mechanical, Micro-electro-mechanical system(MEMS), Semiconductor type, gas sensors, mechanical system
- Family
| Status | Patent | Country | KIPRIS |
|---|---|---|---|
| Registered | MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS TYPE SEMICONDUCTOR GAS SENSOR USING MICROHEATER HAVING MANY HOLES AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME | UNITED STATES |