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등록 캐소드 교체가 용이한 전계방출 장치

캐소드 교체가 용이한 전계방출 장치
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발명자
정진우, 송윤호, 강준태, 김재우
출원번호
10-2011-0134553 (2011.12.14) KIPRIS
공개번호
10-2012-0111895 (2012.10.11)
등록번호
10-1857242-0000 (2018.05.04)
출원국
대한민국
협약과제
10MB5300, 세기조절 마이크로포커스 멀티엑스선원 기술 개발, 송윤호
초록
본 발명은 캐소드 교체가 용이한 전계방출 장치에 관한 것으로서, 상세하게는 캐소드 및 각각의 게이트가 전기적으로 절연을 유지하면서 게이트 및 절연 스페이서를 캐소드와 회전시켜 결합할 때, 결합 수단과 회전 방지 가이드를 통해 게이트와 캐소드가 용이하게 정렬되어 캐소드를 용이하게 교체할 수 있는, 캐소드 교체가 용이한 전계방출 장치에 관한 것이다.
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