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등록 엑스선원 및 이를 이용한 엑스선 초점 조절 방법

엑스선원 및 이를 이용한 엑스선 초점 조절 방법
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발명자
정진우, 송윤호, 최성열, 김재우, 강준태
출원번호
10-2012-0064758 (2012.06.18) KIPRIS
공개번호
10-2013-0141789 (2013.12.27)
등록번호
10-1858230-0000 (2018.05.09)
출원국
대한민국
협약과제
12IB1100, 세기 조절 마이크로 포커스 멀티엑스선원 기술 개발, 송윤호
초록
엑스선원이 제공된다. 이 엑스선원은 진공 용기의 일 단부에 구비되되, 전자를 방출하는 에미터를 포함하는 캐소드 전극, 캐소드 전극에 인접하도록 진공 용기의 내부에 구비되는 게이트 전극, 진공 용기가 연장되는 방향의 타 단부 측의 진공 용기의 내부에 구비되되, 캐소드 전극에 대해 기울어져 있는 애노드 전극, 및 게이트 전극과 애노드 전극 사이의 진공 용기의 내주면을 따라 구비되는 집속 전극을 포함한다. 집속 전극은 평단면이 서로 다른 최소 폭 및 최대 폭을 갖는 개구를 가진다.
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