등록
수직공진 표면방출 레이저 및 그의 제조방법
- 발명자
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송현우, 김봉규, 김승환, 정문연
- 출원번호
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10-2012-0103345 (2012.09.18)
KIPRIS
- 공개번호
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10-2014-0036789 (2014.03.26)
- 등록번호
- 10-1946035-0000 (2019.01.30)
- 출원국
- 대한민국
- 협약과제
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12MC1600, 종양치료용 레이저 이온 가속 시스템 원천 기술 개발,
김승환
- 초록
- 본 발명은 수직공진 표면방출 레이저 및 그의 제조방법을 개시한다. 그의 레이저는 기판과, 상기 기판 상의 하부 반사 층과, 상기 하부 반사층 상의 활성 층과, 상기 활성 층의 제 1 측 상에 배치된 희생 층과, 상기 희생 층으로부터 이격되어 상기 활성 층의 상기 제 1측에 대향되는 제 2 측 상에 배치된 스토퍼와, 상기 희생 층 상에 고정되어 상기 스토퍼 및 상기 활성 층 상으로 연장되는 상부 반사 층을 포함한다. 상기 스토퍼는 상기 상부 반사경과 상기 활성 층의 최소 이격 거리를 정의할 수 있다.
- KSP 제안 키워드
- Manufacturing method, Surface-emitting laser, vertical-cavity surface-emitting laser(VCSEL)
- 패밀리
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