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등록 수직공진 표면방출 레이저 및 그의 제조방법

수직공진 표면방출 레이저 및 그의 제조방법
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발명자
송현우, 김봉규, 김승환, 정문연
출원번호
10-2012-0103345 (2012.09.18) KIPRIS
공개번호
10-2014-0036789 (2014.03.26)
등록번호
10-1946035-0000 (2019.01.30)
출원국
대한민국
협약과제
12MC1600, 종양치료용 레이저 이온 가속 시스템 원천 기술 개발, 김승환
초록
본 발명은 수직공진 표면방출 레이저 및 그의 제조방법을 개시한다. 그의 레이저는 기판과, 상기 기판 상의 하부 반사 층과, 상기 하부 반사층 상의 활성 층과, 상기 활성 층의 제 1 측 상에 배치된 희생 층과, 상기 희생 층으로부터 이격되어 상기 활성 층의 상기 제 1측에 대향되는 제 2 측 상에 배치된 스토퍼와, 상기 희생 층 상에 고정되어 상기 스토퍼 및 상기 활성 층 상으로 연장되는 상부 반사 층을 포함한다. 상기 스토퍼는 상기 상부 반사경과 상기 활성 층의 최소 이격 거리를 정의할 수 있다.
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