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Registered 수직공진 표면방출 레이저 및 그의 제조방법
- Application No.
- 10-2012-0103345 (2012.09.18) KIPRIS
- Publication No.
- 10-2014-0036789 (2014.03.26)
- Registration No.
- 10-1946035-0000 (2019.01.30)
- Country
- KOREA
- Project Code
- 12MC1600, Core Technology Development of Laser Accelerated Ion-Beam Generation System for Cancer Therapy, Seunghwan Kim
- Abstract
- 본 발명은 수직공진 표면방출 레이저 및 그의 제조방법을 개시한다. 그의 레이저는 기판과, 상기 기판 상의 하부 반사 층과, 상기 하부 반사층 상의 활성 층과, 상기 활성 층의 제 1 측 상에 배치된 희생 층과, 상기 희생 층으로부터 이격되어 상기 활성 층의 상기 제 1측에 대향되는 제 2 측 상에 배치된 스토퍼와, 상기 희생 층 상에 고정되어 상기 스토퍼 및 상기 활성 층 상으로 연장되는 상부 반사 층을 포함한다. 상기 스토퍼는 상기 상부 반사경과 상기 활성 층의 최소 이격 거리를 정의할 수 있다.
- KSP Keywords
- Manufacturing method, Surface-emitting laser, vertical-cavity surface-emitting laser(VCSEL)
- Family
| Status | Patent | Country | KIPRIS |
|---|---|---|---|
| Registered | VERTICAL-CAVITY SURFACE-EMITTING LASER AND METHOD OF FABRICATING THE SAME | UNITED STATES |