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등록 유기 산란층의 제조 방법 및 유기 산란층을 갖는 유기발광 다이오드 및 이의 제조 방법

유기 산란층의 제조 방법 및 유기 산란층을 갖는 유기발광 다이오드 및 이의 제조 방법
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발명자
이명기, 조남성, 이정익, 주철웅, 황주현, 안성덕, 서경수, 추혜용, 조두희, 유병곤, 신진욱, 허진우, 문제현, 박승구, 한준한
출원번호
10-2012-0134655 (2012.11.26) KIPRIS
공개번호
10-2014-0073611 (2014.06.17)
등록번호
10-1904953-0000 (2018.09.28)
출원국
대한민국
협약과제
12ZB1100, 융?복합부품 핵심기술 연구, 남은수
초록
본 발명의 일 실시예에 따른 유기 산란층의 제조 방법은 반응 챔버와 소스 챔버를 포함하는 증착 장치를 제공하고, 기판을 상기 반응 챔버 내에 고정하는 것, 상기 반응 챔버와 연결되며 기화된 유기물 소스를 공급하는 상기 소스 챔버에 25°C 내지 50°C의 이송가스를 공급하는 것, 상기 이송가스와 상기 기화된 유기물 소스가 샤워해드를 통하여 상기 반응 챔버 내로 분사되는 것, 및 상기 기화된 유기물 소스가 분자화되어 형성된 유기 입자들이 상기 기판 상에 증착되어 불균일한 표면을 유기 산란층을 형성하는 것을 포함한다.
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등록 불규칙 나노패턴을 이용한 고효율 유기발광소자를 위한 광추출 기술 미국