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등록 전계방출 에미터 전극 및 그 제조 방법

전계방출 에미터 전극 및 그 제조 방법
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발명자
송윤호, 정진우, 김재우, 강준태, 최성열
출원번호
10-2018-0107110 (2018.09.07) KIPRIS
공개번호
10-2018-0102043 (2018.09.14)
등록번호
10-1939831-0000 (2019.01.11)
출원국
대한민국
협약과제
12ZF1100, Seed형 기술개발을 위한 창의형 연구사업, 박선희
초록
본 발명에 따른 전계방출 에미터 전극의 제조 방법은 기판 위에 탄소나노튜브, 제1 무기 충전제, 제2 무기 충전제, 용매 및 유기 바인더를 혼합하여 페이스트를 준비하는 단계, 기판 위에 페이스트를 도포하여 페이스트 층을 형성하는 단계, 페이스트층을 90℃ 내지 120℃의 제1 온도로 건조하는 단계, 페이스트층을 상기 제1 온도보다 높은 250℃ 내지 400℃의 제2 온도로 1차 열처리하여 상기 제1 무기 충전제 및 상기 제2 무기 충전제를 용융하여 소성시키는 단계, 페이스트층을 상기 제2 온도보다 높은 650℃ 내지 1,000℃의 제3 온도로 2차 열처리하여 상기 제2 무기 충전제를 상기 제1 무기 충전제와 반응시키는 단계, 페이스트층을 표면 처리하는 단계를 포함하고, 제1 무기 충전제는 카바이드 계열이고, 상기 제2 무기 충전제는 나노 금속이다.
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