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등록 트랜지스터 및 그 제조 방법

트랜지스터 및 그 제조 방법
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발명자
안호균, 문재경, 김정진, 김해천, 남은수, 임종원
출원번호
10-2012-0148675 (2012.12.18) KIPRIS
공개번호
10-2014-0079091 (2014.06.26)
등록번호
10-1923972-0000 (2018.11.26)
출원국
대한민국
협약과제
12VB1500, 차세대 데이터센터용 에너지절감 반도체 기술, 남은수
초록
전계 효과 트랜지스터가 제공된다. 이 트랜지스터는 기판 상에 순차적으로 적층된 활성층 및 캡핑층, 캡핑층 상에 서로 이격되어 배치된 소스 오믹 전극 및 드레인 오믹 전극, 및 소스 오믹 전극과 드레인 오믹 전극 사이의 기판 상에 배치되되, 캡핑층을 관통하여 활성층에 연결된 게이트 전극을 포함한다. 게이트 전극은 활성층에 연결된 좁은 폭을 갖는 다리부 및 다리부보다 넓은 폭을 갖는 다리부 상의 머리부로 구성된다. 게이트 전극이 연장되는 방향의 게이트 전극의 양 말단 부위들의 게이트 전극의 다리부는 나머지 부위의 게이트 전극의 머리부보다 좁고, 그리고 다리부보다 넓은 폭을 갖는다.
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등록 트랜지스터 및 그 제조 방법 미국