상세정보
등록 범프의 형성 방법 및 이를 포함하는 반도체 소자의 형성방법
- 출원번호
- 10-2013-0029771 (2013.03.20) KIPRIS
- 공개번호
- 10-2014-0115111 (2014.09.30)
- 등록번호
- 10-2006637-0000 (2019.07.29)
- 출원국
- 대한민국
- 협약과제
- 12VB1300, 에너지 절감을 위한 7인치기준 2W급 환경적응 디스플레이 신모드 핵심 원천 기술 개발, 추혜용
- 초록
- 본 발명의 개념에 따른 반도체 소자의 범프의 형성방법은 패드들을 가지는 기판을 제공하는 것; 상기 패드들을 덮으며, 수지 및 솔더 입자들을 포함하는 범프 메이커층을 형성하는 것; 상기 범프 메이커층을 열처리하여, 상기 솔더 입자들을 상기 패드들 상에 응집시키는 것; 상기 수지를 제거하여, 상기 응집된 솔더 입자들을 노출시키는 것; 상기 응집된 솔더 입자들을 덮는 수지층을 형성하는 것; 및 상기 응집된 솔더 입자들을 리플로우하여, 상기 패드들 상에 범프들을 형성하는 것을 포함할 수 있다.