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등록 초고속 광 수신 모듈 및 그것의 제작 방법

초고속 광 수신 모듈 및 그것의 제작 방법
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발명자
주지호, 김경옥, 김태용
출원번호
10-2013-0021452 (2013.02.27) KIPRIS
공개번호
10-2014-0108437 (2014.09.11)
등록번호
10-2091474-0000 (2020.03.16)
출원국
대한민국
협약과제
12VB1600, 실리콘 나노포토닉스 기반 차세대 컴퓨터 칩기술, 김경옥
초록
본 발명에 따른 광 수신 모듈은 복수의 금속층들 및 복수의 세라믹층들이 적층되어 형성되는 세라믹 기판, 상기 세라믹 기판 위에 형성되어 고주파 전기 신호를 전송하는 고주파 전송 선로, 상기 세라믹 기판에 실장되어 광신호를 상기 고주파 전기 신호로 변환하는 광 검출기, 상기 광 검출기에 직류 전원을 공급하는 전원 공급선, 그리고 상기 고주파 전송 선로에 연결되어 외부에 상기 고주파 전기 신호를 전달하는 고주파 커넥터를 포함하고, 상기 광 검출기는 상기 세라믹 기판에 가공되는 단차에 실장되고, 상기 단차에 의해서 상기 광 검출기와 상기 고주파 전송 선로 각각의 접속점들의 높이가 보정된다. 본 발명의 실시 예에 따르면, 적층 구조로 제작 가능한 세라믹 기판을 이용하여 제작 공정이 단순하고, 고속 전송 특성을 향상시킬 수 있는 초고속 광 수신 모듈 및 그것의 제작 방법을 제공할 수 있다.
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등록 광 송수신 모듈 대한민국 KIPRIS