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Registered 저전력 구동을 위한 마이크로 반도체식 가스 센서 및 그 제조 방법
- Application No.
- 10-2013-0085557 (2013.07.19) KIPRIS
- Publication No.
- 10-2015-0010473 (2015.01.28)
- Registration No.
- 10-1772575-0000 (2017.08.23)
- Country
- KOREA
- Abstract
- 본 발명은 저전력 구동을 위한 마이크로 반도체식 가스 센서 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 에어 갭(air gap)을 갖는 기판, 상기 기판 상에 제공되고 전극패드들을 포함하는 주변부, 상기 에어 갭 상에 플로팅(floating) 되고 상기 전극패드들로부터 연결되는 감지 전극들과 상기 감지 전극들상의 감지막을 포함하는 센서부 및 상기 주변부와 상기 센서부를 연결하고 상기 전극패드들과 상기 감지 전극들을 전기적으로 연결하는 도전선들을 포함하는 연결부를 포함하고, 상기 에어 갭은 상기 기판을 관통하고, 상기 에어 갭으로부터 상기 주변부와 상기 센서부 사이로 연장되는 열 고립영역이 제공되는 마이크로 반도체식 가스 센서 및 그의 제조 방법이 제공된다.