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Detail
Registered 정전 용량형 습도센서 및 그 제조방법
- Inventors
- 홍성민, 이강열, 김건년, 신규식, 이대성, 김원효, 박광범
- Application No.
- 10-2007-0135890 (2007.12.21) KIPRIS
- Publication No.
- 10-2008-0058286 (2008.06.25)
- Registration No.
- 10-0951546-0000 (2010.03.31)
- Country
- KOREA
- Project Code
- 07MB2500, Development of CMOS based MEMS processed multi-functional sensor for ubiquitous environment, Chang Auck Choi
- Abstract
- 본 발명은 습도 센서에 관한 것으로, 보다 자세하게는 하부 전극과 집적화된 패턴을 갖는 복수의 상부 전극 사이에 감습층으로 이루어진 정전 용량형 습도 센서 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 정전 용량형 습도 센서는 기판의 절연층상에 형성된 하부전극; 상기 하부 전극상에 도포되어 수분을 흡탈착하기 위한 감습층; 및 상기 감습층상에 형성된 복수의 상부 전극을 포함함에 기술적 특징이 있다. 본 발명의 정전 용량형 습도 센서의 제조방법은 절연층이 형성된 기판상에 하부 금속을 형성하는 단계; 상기 하부 금속상에 감습층을 형성하는 단계; 및 상기 감습층상에 복수의 상부 전극을 형성하는 단계를 포함함에 기술적 특징이 있다.