본 발명은 습도 센서에 관한 것으로, 보다 자세하게는 하부 전극과 집적화된 패턴을 갖는 복수의 상부 전극 사이에 감습층으로 이루어진 정전 용량형 습도 센서 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 정전 용량형 습도 센서는 기판의 절연층상에 형성된 하부전극; 상기 하부 전극상에 도포되어 수분을 흡탈착하기 위한 감습층; 및 상기 감습층상에 형성된 복수의 상부 전극을 포함함에 기술적 특징이 있다. 본 발명의 정전 용량형 습도 센서의 제조방법은 절연층이 형성된 기판상에 하부 금속을 형성하는 단계; 상기 하부 금속상에 감습층을 형성하는 단계; 및 상기 감습층상에 복수의 상부 전극을 형성하는 단계를 포함함에 기술적 특징이 있다.
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<출처표시방법 안내> 작성자, 저작물명, 출처, 권호, 출판년도, 이용조건 [예시1] 김진미 외, "매니코어 기반 고성능 컴퓨팅을 지원하는 경량커널 동향", 전자통신동향분석, 32권 4호, 2017, 공공누리 제4유형 [예시2] 심진보 외, "제4차 산업 혁명과 ICT - 제4차 산업 혁명 선도를 위한 IDX 추진 전략", ETRI Insight, 2017, 공공누리 제 4유형
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