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Registered 진동 소자 및 그 제조 방법

진동 소자 및 그 제조 방법
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Inventors
백인복, 유한영, 이봉국, 장원익, 김약연, 윤용선, 김용준, 안창근, 임지은
Application No.
10-2014-0097114 (2014.07.30) KIPRIS
Publication No.
10-2015-0026805 (2015.03.11)
Registration No.
10-2269048-0000 (2021.06.18)
Country
KOREA
Abstract
진동 영역의 양 끝을 감싸는 형상으로 형성된 지지부를 포함하는 진동 소자 및 그 제조 방법이 개시된다. 진동 소자는 상부에 절연층이 형성된 하부 기판; 상기 절연층의 위에 결합되며, 하부 기판과 일정 거리 이상 이격되어 진동하는 진동 영역을 포함하는 상부 기판; 및 상기 진동 영역의 양끝을 감싸는 형태로 형성되어 상기 진동 영역을 지지하는 지지부를 포함할 수 있다.
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Status Patent Country KIPRIS
Registered VIBRATION DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING VIBRATION DEVICE UNITED STATES