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Registered SUPERLUMINESCENT DIODE AND METHOD FOR IMPLEMENTING THE SAME

수퍼루미네센트 다이오드 및 그의 구현 방법
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Inventors
Oh Su Hwan, Kim Min-Su
Application No.
10-2014-0055793 (2014.05.09) KIPRIS
Publication No.
10-2015-0048017 (2015.05.06)
Registration No.
10-2049342-0000 (2019.11.21)
Country
KOREA
Project Code
12VB3500, 5세대 유무선통합망용 10Gbps 파장가변 광송수신기 및 운용 SW 개발, Kim Min-Su
Abstract
수퍼루미네센트 다이오드 및 그의 구현 방법이 개시되어 있다. 파장 가변 레이저의 SLD(superluminescent diode)를 구현하는 방법은 SI(semi-insulating) 기판의 상단에 제1 에피층을 성장시키는 단계, 상기 제1 에피층을 기반으로 butt를 재성장 시키는 단계, 상기 재성장된 butt 층에 테이퍼된 SSC(spot size converter)를 형성하는 단계, 상기 제1 에피층을 기반으로 한 활성 영역 및 상기 테이퍼된 SSC를 기반으로 한 SSC 영역에 광 도파로를 형성하는 단계, 상기 광도파로 상에 RWG 도파로(rigid waveguide) 도파로를 형성하는 단계, 및 p-형 전극 및 n-형 전극을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
KSP Keywords
Semi-Insulating, Spot size, Spot size converter(SSC), Superluminescent diodes(SLDs)
Family
 
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Status Patent Country KIPRIS
Registered SUPERLUMINESCENT DIODE AND METHOD FOR IMPLEMENTING THE SAME UNITED STATES
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