상세정보
등록 수직형 자외선 발광 다이오드(UV-LED) 제조 방법
- 출원번호
- 10-2014-0000572 (2014.01.03) KIPRIS
- 공개번호
- 10-2015-0081024 (2015.07.13)
- 등록번호
- 10-2115755-0000 (2020.05.21)
- 출원국
- 대한민국
- 협약과제
- 12MB5100, 의료 및 정밀 가공기기용 자외선(Deep UV) 반도체 레이저 개발, 남은수
- 초록
- 본 발명은 수직형 UV-LED 제조방법을 제공한다. 상기 방법은 기판상에 순차적으로 적층된 버퍼층, n-컨택층 및 p-컨택층을 포함하는 UV-LED 에피구조를 형성하고, 기판으로부터 n-컨택층까지 연장한 비아홀을 형성하고, 비아홀 측벽에 제공되고 상기 n-컨택층에 노출되는 절연스페이스를 형성하고, 그리고 비아홀과 n-형 컨택층과 연결하는 금속전극을 형성하는 공정을 수행하는 것을 포함한다.