상세정보
등록 베이스 몰드 및 몰드의 제조방법
- 출원번호
- 10-2014-0039956 (2014.04.03) KIPRIS
- 공개번호
- 10-2015-0116002 (2015.10.15)
- 등록번호
- 10-1593601-0000 (2016.02.03)
- 출원국
- 대한민국
- 협약과제
- 13ZV1100, 중소기업 동반성장 및 기술사업화 성과확산, 현창희
- 초록
- 본 발명은 베이스 몰드 및 몰드의 제조방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 기판 상에 서로 이격되어 차례로 적층된 제1막 및 제2막을 형성하는 것; 상기 제1막을 패터닝하여 제1패턴을 형성하는 것; 상기 제1패턴의 양 측벽들 상에 제1스페이서를 형성하는 것; 상기 제1스페이서를 식각 마스크로 상기 제2막을 식각하여, 제2패턴을 형성하는 것; 상기 제1스페이서를 제거하여, 상기 기판 상에 상기 제1패턴 및 상기 제2패턴을 포함하는 적층 구조체를 형성하는 것; 및 상기 적층 구조체를 덮는 몰드막을 형성하는 것을 포함하는 몰드의 제조방법에 관한 것이다.