플라즈마 발생 장치는 노즐 어레이(nozzle array), 제 1 전극 및 하우징을 포함한다. 노즐 어레이는 플라즈마를 배출한다. 제 1 전극은 상기 노즐 어레이를 둘러싸도록 배치된다. 하우징은 상기 노즐 어레이 및 상기 제 1 전극을 둘러싸도록 배치된다. 노즐 어레이는 복수의 노즐들을 포함하고, 복수의 노즐들은 서로 인접하여 어레이 형태로 배치되어 각각 플라즈마를 배출하도록 구성된다. 따라서, 대면적의 플라즈마를 균일하고 안정적으로 발생시킬 수 있다.
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<출처표시방법 안내> 작성자, 저작물명, 출처, 권호, 출판년도, 이용조건 [예시1] 김진미 외, "매니코어 기반 고성능 컴퓨팅을 지원하는 경량커널 동향", 전자통신동향분석, 32권 4호, 2017, 공공누리 제4유형 [예시2] 심진보 외, "제4차 산업 혁명과 ICT - 제4차 산업 혁명 선도를 위한 IDX 추진 전략", ETRI Insight, 2017, 공공누리 제 4유형
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