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Detail
Registered 플라즈마 발생장치
- Application No.
- 10-2014-0104364 (2014.08.12) KIPRIS
- Publication No.
- 10-2015-0100466 (2015.09.02)
- Registration No.
- 10-2297068-0000 (2021.08.27)
- Country
- KOREA
- Abstract
- 플라즈마 발생 장치는 노즐 어레이(nozzle array), 제 1 전극 및 하우징을 포함한다. 노즐 어레이는 플라즈마를 배출한다. 제 1 전극은 상기 노즐 어레이를 둘러싸도록 배치된다. 하우징은 상기 노즐 어레이 및 상기 제 1 전극을 둘러싸도록 배치된다. 노즐 어레이는 복수의 노즐들을 포함하고, 복수의 노즐들은 서로 인접하여 어레이 형태로 배치되어 각각 플라즈마를 배출하도록 구성된다. 따라서, 대면적의 플라즈마를 균일하고 안정적으로 발생시킬 수 있다.