Provided herein an apparatus for generating plasma, the apparatus including a nozzle array, first electrode, and housing. The nozzle discharges plasma. The first electrode is disposed to surround the nozzle array. The housing is disposed to surround the nozzle array and first electrode. The nozzle includes a plurality of nozzles disposed adjacent to one another and in the form of an array, each nozzle configured to discharge plasma. Therefore, it is possible to generate a large size plasma evenly and stably.
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<출처표시방법 안내> 작성자, 저작물명, 출처, 권호, 출판년도, 이용조건 [예시1] 김진미 외, "매니코어 기반 고성능 컴퓨팅을 지원하는 경량커널 동향", 전자통신동향분석, 32권 4호, 2017, 공공누리 제4유형 [예시2] 심진보 외, "제4차 산업 혁명과 ICT - 제4차 산업 혁명 선도를 위한 IDX 추진 전략", ETRI Insight, 2017, 공공누리 제 4유형
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