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상세정보

등록 가스 모니터링 장치 및 그를 포함하는 플라즈마 공정 설비

발명자
윤선진, 임정욱, 이규성
출원번호
14/621739 (2015.02.13)
등록번호
10153141 (2018.12.11)
출원국
미국
협약과제
13MB2100, 유연성 철강소재기판상에서 효율13%를 갖는 Si/SiGe 탠덤 박막태양전지개발, 윤선진
패밀리
 
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등록 가스 모니터링 장치 및 그를 포함하는 플라즈마 공정 설비 대한민국 KIPRIS