상세정보
등록 반도체 소자 및 이의 제조 방법
- 발명자
- 서동우
- 출원번호
- 10-2014-0112400 (2014.08.27) KIPRIS
- 공개번호
- 10-2016-0025682 (2016.03.09)
- 등록번호
- 10-2020847-0000 (2019.09.05)
- 출원국
- 대한민국
- 초록
- 본 발명은 나노와이어 구조체를 포함하는 반도체 소자 및 이의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 반도체 소자는, 나노와이어를 이루는 코어와 쉘간의 엇물린 이종접합에 의하여, 인위적인 불순물 도핑 없이도 상기 코어는 도핑 효과를 가질 수 있다. 따라서, 수직형 나노와이어에 있어서 불순물 도핑으로 발생하는 불순물 응리 내지 불균일한 도핑 분포의 문제점들을 해소할 수 있다. 나아가, 상기 반도체 소자는 상기 나노와이어를 포함함으로써, 전하의 전송 속도가 향상되고 소자의 전류 밀도가 증가될 수 있다.