등록 FIELD EFFECT POWER ELECTRONIC DEVICE AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME

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FIELD EFFECT POWER ELECTRONIC DEVICE AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME

발명자

Jongmin Lee, Jong-Won Lim, Kim Seong-Il, Hyung Sup Yoon, Dong Min Kang, Hokyun Ahn, Ju Chull Won, Min Byoung-Gue

출원번호

10-2015-0037280 (2015.03.18) KIPRIS

공개번호

10-2016-0113344 (2016.09.29)

등록번호

10-2219504-0000 (2021.02.18)

출원국

KOREA

협약과제

13VB5900, Development of Core Modules and Transceiver for Digital Wireless Communications Based on Software, Hyung Sup Yoon

초록

신뢰성 및 내구성이 향상된 전계 효과 전력 전자 소자의 제조 방법에 관한 기술이 개시된다. 전계 효과 전력 전자 소자의 제조 방법은 소자 격리 영역 및 소자 동작 영역으로 정의된 기판 상에 에피층을 형성하는 단계, 소자 동작 영역의 에피층을 덮고, 제1 방향을 따라 소정의 간격으로 위치하는 개구부들을 가지는 마스크 패턴을 형성하는 단계, 마스크 패턴이 형성된 에피층 내부는 활성 영역으로 형성하고, 마스크 패턴이 형성되지 않은 에피층 내부는 이온을 주입하여 비활성 영역을 형성하는 단계, 마스크 패턴을 제거하는 단계, 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 소자 동작 영역의 에피칭 내부에 형성된 비활성 영역을 사이에 두고 소자 동작 영역의 에피층 상에 소스 전극과 드레인 전극을 형성하는 단계 및 소스 전극과 드레인 전극 사이의 소자 동작 영역의 에피층 상에 게이트 전극을 형성하는 단계를 포함한다.

KSP 제안 키워드

Power Electronics, Power electronic devices, electronic devices, field effect