상세정보
등록 게르마늄 온 인슐레이터 기판 및 그의 형성방법
- 출원번호
- 10-2015-0029812 (2015.03.03) KIPRIS
- 공개번호
- 10-2016-0107398 (2016.09.19)
- 등록번호
- 10-2279162-0000 (2021.07.13)
- 출원국
- 대한민국
- 협약과제
- 14MB1300, 실리콘 나노포토닉스 기반 차세대 컴퓨터 인터페이스 플랫폼 원천기술 개발, 김경옥
- 초록
- 본 발명은 게르마늄 온 인슐레이터 기판을 제공한다. 게르마늄 온 인슐레이터 기판은 벌크 실리콘 기판, 상기 벌크 실리콘 기판 상에 배치되고, 상기 벌크 실리콘 기판의 일부를 노출하는 제 1 영역을 가지는 산화막, 상기 산화막의 상면의 일부를 덮으며, 상기 제 1 영역을 덮지 않는 실리콘층, 상기 제 1 영역을 통해 노출된 상기 벌크 실리콘 기판과 접촉하고, 상기 산화막 상에 배치되는 게르마늄층 및 상기 산화막 및 상기 실리콘층을 덮고 상기 게르마늄층의 상면을 노출시키는 절연층을 포함한다.
- KSP 제안 키워드
- Germanium on insulator