상세정보
등록 반도체 소자
- 출원번호
- 10-2015-0029809 (2015.03.03) KIPRIS
- 공개번호
- 10-2016-0107397 (2016.09.19)
- 등록번호
- 10-2219482-0000 (2021.02.18)
- 출원국
- 대한민국
- 협약과제
- 14MB1200, 스마트 데이터센터용 차세대 광-전 모듈 기술, 남은수
- 초록
- 본 발명은 반도체 소자를 제공한다. 반도체 소자는 동적인 움직임으로 냉각매체의 흐름을 발생시키는 외팔보를 갖는 기판, 상기 기판 상에 제공된 활성영역, 상기 기판 상에 상기 활성영역과 이격되어 배치되는 절연막, 상기 절연막 상에 배치되는 하부 전극, 상기 하부 전극 상에 배치되는 압전막 및 상기 압전막 상에 배치되는 상부 전극을 포함한다.
- KSP 제안 키워드
- semiconductor device
- 패밀리
| 구분 | 특허 | 출원국 | KIPRIS |
|---|---|---|---|
| 등록 | 능동형 냉각구조를 갖는 반도체 소자 | 미국 |