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Detail
Registered 반도체 소자
- Application No.
- 10-2015-0029809 (2015.03.03) KIPRIS
- Publication No.
- 10-2016-0107397 (2016.09.19)
- Registration No.
- 10-2219482-0000 (2021.02.18)
- Country
- KOREA
- Project Code
- 14MB1200, Next Generation Optical and Electrical Module Technology for Smart Data Center, Eun Soo Nam
- Abstract
- 본 발명은 반도체 소자를 제공한다. 반도체 소자는 동적인 움직임으로 냉각매체의 흐름을 발생시키는 외팔보를 갖는 기판, 상기 기판 상에 제공된 활성영역, 상기 기판 상에 상기 활성영역과 이격되어 배치되는 절연막, 상기 절연막 상에 배치되는 하부 전극, 상기 하부 전극 상에 배치되는 압전막 및 상기 압전막 상에 배치되는 상부 전극을 포함한다.
- KSP Keywords
- semiconductor device
- Family
| Status | Patent | Country | KIPRIS |
|---|---|---|---|
| Registered | SEMICONDUCTOR DEVICE | UNITED STATES |