Provided is a semiconductor device. The semiconductor device includes a substrate including a cantilever configured to generate a flow of cooling media through dynamic movement, an active area on the substrate which an electronic device is provided on, an insulation layer disposed to be spaced apart from the active area on the substrate, a lower electrode on the insulation layer, a piezoelectric film on the lower electrode, and an upper electrode on the piezoelectric film.
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<출처표시방법 안내> 작성자, 저작물명, 출처, 권호, 출판년도, 이용조건 [예시1] 김진미 외, "매니코어 기반 고성능 컴퓨팅을 지원하는 경량커널 동향", 전자통신동향분석, 32권 4호, 2017, 공공누리 제4유형 [예시2] 심진보 외, "제4차 산업 혁명과 ICT - 제4차 산업 혁명 선도를 위한 IDX 추진 전략", ETRI Insight, 2017, 공공누리 제 4유형
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