상세정보
등록 전자 빔 생성기, 그를 포함하는 이미지 장치, 및 광학 장치
- 출원번호
- 10-2016-0004357 (2016.01.13) KIPRIS
- 공개번호
- 10-2016-0108810 (2016.09.20)
- 등록번호
- 10-2526842-0000 (2023.04.25)
- 출원국
- 대한민국
- 협약과제
- 14MC1200, 종양치료용 레이저 이온 가속 시스템 원천 기술 개발, 정문연
- 초록
- 본 발명은 전자 빔 생성기, 그를 포함하는 이미지 장치 및 광학 장치를 포함할 수 있다. 광학 장치는 기판에 제 1 및 제 2 레이저 빔들을 제공하는 제 1 및 제 2 레이저 장치들과, 상기 제 1 및 제 2 레이저 장치들과 상기 기판 사이에 제공되고, 상기 제 1 및 제 2 레이저 빔들을 포커스 하는 제 1 광학계를 포함한다. 제 1 및 제 2 레이저 빔들은 서로 중첩되어 간섭 빔을 생성하여, 초점에서 간섭 빔의 스팟 사이즈를 제 1 및 제 2 레이저 빔들 각각의 파장보다 작게 감소시킨다.
- KSP 제안 키워드
- Electron Beam, Electron beam generator, Optical apparatus
- 패밀리
| 구분 | 특허 | 출원국 | KIPRIS |
|---|---|---|---|
| 등록 | 펨토초 고출력 레이저를 이용한 고해상도 전자빔 이미징용 고에너지 바늘형태의 전자빔 가속 방법 | 미국 |