상세정보
등록 기판 도핑 방법
- 출원번호
- 10-2016-0004359 (2016.01.13) KIPRIS
- 공개번호
- 10-2016-0115686 (2016.10.06)
- 등록번호
- 10-2521976-0000 (2023.04.11)
- 출원국
- 대한민국
- 협약과제
- 14MC1200, 종양치료용 레이저 이온 가속 시스템 원천 기술 개발, 정문연
- 초록
- 본 발명은 기판 도핑 방법을 개시한다. 그의 방법은, 기판을 제공하는 단계와, 상기 기판 상에 타깃 물질을 제공하는 단계와, 상기 타깃 물질에 레이저 빔을 제공하여 상기 타깃 물질의 도전성 불순물을 기판 내에 주입하는 단계를 포함한다.
- KSP 제안 키워드
- Doping method