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Detail
Registered doping method of substrate
- Inventors
- Jung Moon Youn, Jisu Lee
- Application No.
- 10-2016-0004359 (2016.01.13) KIPRIS
- Publication No.
- 10-2016-0115686 (2016.10.06)
- Registration No.
- 10-2521976-0000 (2023.04.11)
- Country
- KOREA
- Project Code
- 14MC1200, Core Technology Development of Laser Accelerated Ion-Beam Generation System for Cancer Therapy, Jung Moon Youn
- Abstract
- 본 발명은 기판 도핑 방법을 개시한다. 그의 방법은, 기판을 제공하는 단계와, 상기 기판 상에 타깃 물질을 제공하는 단계와, 상기 타깃 물질에 레이저 빔을 제공하여 상기 타깃 물질의 도전성 불순물을 기판 내에 주입하는 단계를 포함한다.
- KSP Keywords
- Doping method