상세정보
등록 기판소자의 제조방법
- 출원번호
- 10-2016-0018604 (2016.02.17) KIPRIS
- 공개번호
- 10-2016-0116295 (2016.10.07)
- 등록번호
- 10-1988889-0000 (2019.06.07)
- 출원국
- 대한민국
- 협약과제
- 14PB2600, 폭 1500mm 플렉서블 기판에 산화물 박막 트랜지스터 증착을 위한 스퍼터 장비 실용화 기술 개발, 조성행
- 초록
- 본 발명의 실시예에 따라 유연 기판소자를 제공한다. 유연 기판 소자는 캐리어 기판 상에 희생층을 형성하고, 상기 희생층 상에 유연 기판소자를 형성하고, 상기 유연 기판소자가 형성된 상기 캐리어 기판을 희석된 산화물 식각제(Buffered Oxide Etchant)에 침전시켜 상기 희생층과 상기 캐리어 기판을 상기 유연 기판소자로부터 제거하는 것을 포함하고, 상기 희생층은 수소 함유 실리콘 질화물을 포함한다.