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Registered 마이크로 패턴 및 나노 패턴을 동시에 형성하는 유기발광다이오드의 제조방법
- Application No.
- 10-2015-0050165 (2015.04.09)
- Registration No.
- 10-1608717-0000 (2016.03.29)
- Country
- KOREA
- Project Code
- 14PB2200, Development of Soluble TFT and Pixel Formation Materials/Process Technologies for AMOLED TV, Lee Jonghee
- Abstract
- 본 발명은 마이크로 패턴 및 나노 패턴의 동시에 형성하는 유기발광다이오드의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은 (a) 기판 위에 애노드를 형성하는 단계 (b) 상기 애노드 위에 화소형성층으로 사용될 감광층을 형성하는 단계 (c) 상기 감광층에 마이크로 패턴을 노광하는 단계 (d) 상기 감광층에 나노 패턴을 노광하는 단계 (e) 상기 감광층을 식각하여 마이크로 패턴 및 나노 패턴을 함께 가지는 화소형성층을 형성하는 단계 (f) 상기 패턴 내에 유기물질층을 형성하는 단계 및 (g) 상기 유기물질층 위에 캐소드를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, UV 리소그래피 공정을 통하여 여러 가지 모양과 배열을 가지는 픽셀 구조를 제작할 수 있으며, 동시에 마이크로 패턴 안에 레이저 간섭 리소그래피 공정으로 나노 스케일의 라인 또는 홀 패턴을 주기적으로 형성할 수 있다.
- KSP Keywords
- Micro-patterns, Organic light-emitting, Organic light-emitting diodes(OLEDS), light-emitting, light-emitting diode(LED)