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상세정보

등록 반도체 패키지의 제조 방법

반도체 패키지의 제조 방법
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발명자
최광성, 배현철, 이학선, 이진호, 엄용성
출원번호
10-2015-0161193 (2015.11.17) KIPRIS
공개번호
10-2017-0057909 (2017.05.26)
등록번호
10-2246076-0000 (2021.04.23)
출원국
대한민국
협약과제
15ZB1400, ESSOP CUBE 기술 기반 차세대 레이더 3D 모듈 개발, 이진호
초록
본 발명의 반도체 패키지의 제조 방법은 패드를 포함하는 패키지 기판을 준비하는 것, 상기 패드 상에 솔더볼이 배치되도록, 상기 패키지 기판 상에 상기 솔더볼이 부착된 반도체 칩을 실장하는 것, 상기 패키지 기판과 상기 반도체 칩 사이에 카복실기가 포함된 환원제를 포함하는 언더필 수지를 채우는 것, 및 상기 반도체 칩에 레이저를 조사하여 상기 솔더볼과 상기 패드를 부착하는 것을 포함하되, 상기 솔더볼과 상기 패드를 부착하는 것은 조사된 상기 레이저에 의해 발생된 열로 인해 상기 패드 및 상기 솔더볼의 표면들에 형성된 금속 산화막이 금속막으로 바뀌는 것을 포함할 수 있다.
KSP 제안 키워드
Semiconductor package
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