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Registered 투명 전극의 제조 방법

투명 전극의 제조 방법
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Inventors
정우석
Application No.
10-2015-0174338 (2015.12.08) KIPRIS
Publication No.
10-2017-0006242 (2017.01.17)
Registration No.
10-1789295-0000 (2017.10.17)
Country
KOREA
Abstract
본 발명은 투명 전극에 관한 것으로, 투명 기판 상에 제 1 산화물층, 금속층, 및 제 2 산화물층을 순차적으로 적층하여 다층 투명 전도막을 형성하는 것, 상기 제 2 산화물층 상에 마스크 패턴을 형성하는 것, 상기 마스크 패턴을 식각 마스크로 하는 식각 공정을 수행하여, 상기 제 2 산화물층 내에 상기 금속층의 상면을 노출하는 트랜치를 형성하는 것, 및 상기 트랜치 내에 금속 패턴을 형성하는 것을 포함하는 투명 전극의 제조 방법을 제공한다.
KSP Keywords
transparent electrode
Family
 
패밀리 특허 목록
Status Patent Country KIPRIS
Registered METHOD FOR MANUFACTURING TRANSPARENT ELECTRODE UNITED STATES