Registered
METHOD FOR MANUFACTURING TRANSPARENT ELECTRODE
- Inventors
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Cheong Woo-Seok
- Application No.
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10-2015-0174338 (2015.12.08)
KIPRIS
- Publication No.
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10-2017-0006242 (2017.01.17)
- Registration No.
- 10-1789295-0000 (2017.10.17)
- Country
- KOREA
- Abstract
- 본 발명은 투명 전극에 관한 것으로, 투명 기판 상에 제 1 산화물층, 금속층, 및 제 2 산화물층을 순차적으로 적층하여 다층 투명 전도막을 형성하는 것, 상기 제 2 산화물층 상에 마스크 패턴을 형성하는 것, 상기 마스크 패턴을 식각 마스크로 하는 식각 공정을 수행하여, 상기 제 2 산화물층 내에 상기 금속층의 상면을 노출하는 트랜치를 형성하는 것, 및 상기 트랜치 내에 금속 패턴을 형성하는 것을 포함하는 투명 전극의 제조 방법을 제공한다.
- KSP Keywords
- transparent electrode
- Family
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