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Registered 마흐-젠더 전기 광학 변조기 및 이의 제조 방법
- Application No.
- 10-2015-0178966 (2015.12.15) KIPRIS
- Publication No.
- 10-2017-0071074 (2017.06.23)
- Registration No.
- 10-2366164-0000 (2022.02.17)
- Country
- KOREA
- Project Code
- 15MB1200, Development of key technologies for flexible optical node based on software-defined network(SDN), Kwon Yong-Hwan
- Abstract
- 마흐-젠더 전기 광학 변조기의 제조 방법은 능동 영역 및 수동 영역을 구비하는 III-V족 화합물 반도체 기판 상에 III-V족 화합물 반도체를 포함하는 진성 반도체층을 형성하는 단계; 상기 능동 영역에 대응하는 진성 반도체층에 제1 불순물을 도핑하여, 상기 기판 상에 배치되고 상기 제1 불순물이 도핑되지 않은 코어층, 및 상기 코어층 상에 배치되고 상기 제1 불순물이 도핑된 영역을 포함하는 상부 클래드층을 형성하는 단계; 및 상기 코어층, 및 상기 상부 클래드층을 패터닝하는 단계를 포함할 수 있다. 상기 코어층은 상기 능동 영역에 배치되는 능동 코어층, 및 상기 수동 영역에 배치되는 수동 코어층을 포함할 수 있다. 상기 상부 클래드층은 상기 능동 코어층 상에 배치되고 상기 제1 불순물이 도핑된 능동 상부 클래드층, 및 상기 수동 코어층 상에 배치되고 상기 제1 불순물이 도핑되지 않은 수동 상부 클래드층을 포함할 수 있다. 상기 능동 상부 클래드층 및 상기 수동 상부 클래드층은 동일한 두께를 가질 수 있다.
- KSP Keywords
- Electro-Optic, Fabrication method, Mach-Zehnder(MZ), Mach-Zehnder electro-optic modulator, electro-optic modulator(EOM)