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상세정보

등록 엑스선 소스

엑스선 소스
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발명자
정진우, 송윤호
출원번호
10-2016-0041149 (2016.04.04) KIPRIS
공개번호
10-2017-0022852 (2017.03.02)
등록번호
10-2188055-0000 (2020.12.01)
출원국
대한민국
협약과제
15ZE1100, ETRI 창의연구실 사업, 정성영
초록
엑스선 소스는 캐소드; 상기 캐소드와 마주하도록 상기 캐소드의 상부에 위치된 아노드; 상기 캐소드 상에 형성된 에미터; 상기 캐소드와 상기 아노드의 사이에 위치되고 상기 에미터와 대응되는 위치에 개구부를 포함하는 게이트 전극; 상기 게이트와 상기 아노드 사이에 형성된 절연 스페이서; 및 상기 절연 스페이서의 내벽에 형성되고, 상기 절연 스페이서에 비해 2차 전자 발생 계수가 작은 물질을 포함하는 코팅막을 포함한다.
패밀리
 
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