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등록 테라헤르츠파 발생 장치 및 이를 이용한 테라헤르츠 파면 제어 방법

테라헤르츠파 발생 장치 및 이를 이용한 테라헤르츠 파면 제어 방법
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발명자
출원번호
10-2016-0025830 (2016.03.03) KIPRIS
공개번호
10-2017-0103269 (2017.09.13)
등록번호
10-2257556-0000 (2021.05.24)
출원국
대한민국
협약과제
15ZE1100, ETRI 창의연구실 사업, 정성영
15PE1100, 테라헤르츠 영상?분광 복합 포터블 스캐너 기술 개발 , 박경현
초록
본 발명은 파면 제어가 가능한 테라헤르츠파 발생 장치에 관한 것이다. 본 발명의 실시예에 의한 테라헤르츠파 발생 장치는, 광전도성 기판과, 상기 광전도성 기판 상에 2차원 어레이 형태로 배열되는 다수의 테라헤르츠파 발생용 단위 소자들을 포함하며, 상기 테라헤르츠파 발생용 단위 소자들은, 상기 광전도성 기판 상에 상기 2차원 어레이 형태로 배열되며 다수의 제1 전극패드들 중 각기 다른 제1 전극패드에 개별적으로 연결되는 다수의 제1 전극들과, 상기 광전도성 기판 상에 상기 제1 전극들과 대향되도록 형성된 하나 이상의 제2 전극을 포함한다.
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등록 테라헤르츠파 발생 장치 및 이를 이용한 테라헤르츠 파면 제어 방법 대한민국 KIPRIS